ການກັ່ນຕອງອາຍແກັສ semiconductor

ເປັນຫຍັງຕ້ອງໃຊ້ການກັ່ນຕອງອາຍແກັສໃນຂະບວນການຜະລິດ semiconductor ? 

ການກັ່ນຕອງອາຍແກັສເປັນສິ່ງຈໍາເປັນໃນຂະບວນການຜະລິດ semiconductor ສໍາລັບເຫດຜົນທີ່ສໍາຄັນຫຼາຍ:

1. ການກໍາຈັດສິ່ງປົນເປື້ອນ

ການຜະລິດ semiconductor ກ່ຽວຂ້ອງກັບຂະບວນການທີ່ລະອຽດອ່ອນຈໍານວນຫລາຍບ່ອນທີ່ແມ້ກະທັ້ງສິ່ງປົນເປື້ອນທີ່ນ້ອຍທີ່ສຸດ,

ເຊັ່ນ: ຝຸ່ນລະອອງ, ຄວາມຊຸ່ມ, ຫຼືສານເຄມີຕົກຄ້າງ, ສາມາດມີຜົນກະທົບອັນຕະລາຍ. ເອົາການກັ່ນຕອງອາຍແກັສອອກ

ອະນຸພາກ, ມົນລະພິດ, ແລະສານປົນເປື້ອນໃນອາກາດຈາກອາຍແກັສຂະບວນການ, ຮັບປະກັນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ສະອາດ.

ແລະຮັກສາຄວາມສົມບູນຂອງ wafers semiconductor.

2. ການຮັກສາມາດຕະຖານຄວາມບໍລິສຸດສູງສຸດ

ອຸດສາຫະກໍາ semiconductor ຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີລະດັບຄວາມບໍລິສຸດສູງທີ່ສຸດໃນອາຍແກັສທີ່ໃຊ້, ຍ້ອນວ່າສິ່ງສົກກະປົກສາມາດເຮັດໄດ້

ນໍາໄປສູ່ຄວາມບົກຜ່ອງຂອງອຸປະກອນ semiconductor. ການກັ່ນຕອງອາຍແກັສຊ່ວຍໃຫ້ບັນລຸຄຸນນະພາບອາຍແກັສ ultra-ບໍລິສຸດ, ປ້ອງກັນ

ການປົນເປື້ອນແລະຮັບປະກັນຄວາມສອດຄ່ອງແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງຜະລິດຕະພັນ.

3. ອຸປະກອນປ້ອງກັນ

ການປົນເປື້ອນໃນທາດອາຍພິດບໍ່ພຽງແຕ່ສາມາດເປັນອັນຕະລາຍຕໍ່ wafers semiconductor ແຕ່ຍັງທໍາລາຍຄວາມອ່ອນໄຫວ

ອຸ​ປະ​ກອນ​ທີ່​ນໍາ​ໃຊ້​ໃນ​ຂະ​ບວນ​ການ​ຜະ​ລິດ​ເຊັ່ນ​: reactors vapor deposition (CVD​) ເຄ​ມີ​ແລະ​

ລະບົບ etching. ການກັ່ນຕອງອາຍແກັສປົກປ້ອງເຄື່ອງລາຄາແພງເຫຼົ່ານີ້ຈາກຄວາມເສຍຫາຍ, ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຂອງ

downtime ແລະການສ້ອມແປງຄ່າໃຊ້ຈ່າຍ.

4. ປ້ອງກັນການສູນເສຍຜົນຜະລິດ

ຜົນຜະລິດແມ່ນສໍາຄັນໃນການຜະລິດ semiconductor, ບ່ອນທີ່ຂໍ້ບົກພ່ອງສາມາດເຮັດໃຫ້ເກີດການສູນເສຍຢ່າງຫຼວງຫຼາຍໃນການຜະລິດ.

ເຖິງແມ່ນວ່າອະນຸພາກດຽວຫຼືຄວາມບໍ່ສະອາດທາງເຄມີສາມາດເຮັດໃຫ້ການສູນເສຍຜົນຜະລິດ, ຜົນກະທົບຕໍ່ຜົນຜະລິດແລະກໍາໄລ.

ການກັ່ນຕອງອາຍແກັສຮັບປະກັນວ່າທາດອາຍຜິດຂະບວນການແມ່ນບໍລິສຸດ, ຫຼຸດຜ່ອນການປົນເປື້ອນແລະຫຼຸດຜ່ອນການສູນເສຍຜົນຜະລິດ.

5. ຮັບປະກັນຄຸນນະພາບຜະລິດຕະພັນ

ຄວາມສອດຄ່ອງແລະຄຸນນະພາບແມ່ນສໍາຄັນທີ່ສຸດໃນການຜະລິດ semiconductor. ອາຍແກັສທີ່ປົນເປື້ອນສາມາດສ້າງໄດ້

ຄວາມບໍ່ສອດຄ່ອງ, ນໍາໄປສູ່ອຸປະກອນ semiconductor ທີ່ບໍ່ຫນ້າເຊື່ອຖື. ໂດຍການນໍາໃຊ້ການກັ່ນຕອງອາຍແກັສ, ຜູ້ຜະລິດສາມາດ

ຮັບ​ປະ​ກັນ​ວ່າ​ແຕ່​ລະ batch ມີ​ມາດ​ຕະ​ຖານ​ຄຸນ​ນະ​ພາບ​ທີ່​ເຂັ້ມ​ງວດ​ທີ່​ຕ້ອງ​ການ​, ເຮັດ​ໃຫ້​ອຸ​ປະ​ກອນ​ທີ່​ສູງ​ຂຶ້ນ​

ປະສິດທິພາບແລະອາຍຸຍືນ.

6. ການຫຼຸດຜ່ອນເວລາຢຸດເຮັດວຽກ

ການປົນເປື້ອນໃນອາຍແກັສຂະບວນການສາມາດເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມລົ້ມເຫຼວຂອງອຸປະກອນ, ມີຄວາມຈໍາເປັນໃນການບໍາລຸງຮັກສາຫຼືການທົດແທນ.

ໂດຍການນໍາໃຊ້ການກັ່ນຕອງອາຍແກັສ, ຜູ້ຜະລິດສາມາດຫຼຸດຜ່ອນເວລາທີ່ບໍ່ໄດ້ຄາດຫວັງ, ຮັກສາປະສິດທິພາບການດໍາເນີນງານ, ແລະ

ຍືດອາຍຸຂອງອຸປະກອນທີ່ສໍາຄັນ.

7. ຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ທາງເຄມີ

ອາຍແກັສຫຼາຍອັນທີ່ໃຊ້ໃນຂະບວນການເຊມິຄອນດັກເຕີແມ່ນມີປະຕິກິລິຍາສູງ ຫຼື ກັດກ່ອນ. ການກັ່ນຕອງອາຍແກັສແມ່ນ

ອອກແບບມາເພື່ອທົນຕໍ່ສະພາບແວດລ້ອມທາງເຄມີ harsh ເຫຼົ່ານີ້ໃນຂະນະທີ່ປະສິດທິພາບການກັ່ນຕອງ impurities, ຮັບປະກັນ

ການປຸງແຕ່ງທີ່ປອດໄພແລະມີປະສິດທິພາບ.

ໂດຍລວມແລ້ວ, ການກັ່ນຕອງອາຍແກັສແມ່ນສໍາຄັນສໍາລັບການຮັກສາຄວາມບໍລິສຸດ, ຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖື, ແລະຄວາມປອດໄພຂອງ semiconductor.

ຂະ​ບວນ​ການ​ຜະ​ລິດ​, ການ​ຊ່ວຍ​ໃຫ້​ບັນ​ລຸ​ຄຸນ​ນະ​ພາບ​ສູງ​, ຜະ​ລິດ​ຕະ​ພັນ semiconductor ບໍ່​ມີ​ຂໍ້​ບົກ​ພ່ອງ​ໃນ​ຂະ​ນະ​ທີ່​

ຍັງປົກປ້ອງອຸປະກອນທີ່ມີຄຸນຄ່າ.

ປະເພດຂອງການກັ່ນຕອງອາຍແກັສໃນຂະບວນການຜະລິດ semiconductor

ໃນຂະບວນການຜະລິດ semiconductor, ປະເພດຕ່າງໆຂອງການກັ່ນຕອງອາຍແກັສຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອແກ້ໄຂຕ່າງໆ

ຂັ້ນຕອນແລະສິ່ງທ້າທາຍທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບຄວາມບໍລິສຸດຂອງອາຍແກັສແລະການປົກປ້ອງອຸປະກອນ.

ປະເພດຂອງເຄື່ອງກອງອາຍແກັສທີ່ໃຊ້ທົ່ວໄປປະກອບມີ:

1. ການກັ່ນຕອງອະນຸພາກ

* ຈຸດ​ປະ​ສົງ​: ເພື່ອເອົາອະນຸພາກ, ຝຸ່ນ, ແລະສິ່ງປົນເປື້ອນແຂງອື່ນໆອອກຈາກກ໊າຊຂະບວນການ.

* ການ​ນໍາ​ໃຊ້​: ມັກຈະຕິດຕັ້ງຢູ່ໃນຂັ້ນຕອນຕ່າງໆເພື່ອປ້ອງກັນ wafers, ຫ້ອງຂະບວນການ, ແລະອຸປະກອນຈາກການປົນເປື້ອນ particle.

* ວັດສະດຸ: ປົກກະຕິແລ້ວເຮັດຈາກສະແຕນເລດ sintered, PTFE, ຫຼືອຸປະກອນອື່ນໆທີ່ຮັບປະກັນຄວາມທົນທານແລະເຂົ້າກັນໄດ້ຂອງສານເຄມີ.

2. ການກັ່ນຕອງໂມເລກຸນ ຫຼືເຄມີ (Getter Filters)

* ຈຸດ​ປະ​ສົງ​: ເພື່ອກໍາຈັດສິ່ງປົນເປື້ອນໂມເລກຸນສະເພາະ, ເຊັ່ນ: ຄວາມຊຸ່ມ, ອົກຊີເຈນ, ຫຼືທາດປະສົມອິນຊີ, ທີ່ອາດຈະມີຢູ່ໃນທາດອາຍຜິດຂະບວນການ.

* ການ​ນໍາ​ໃຊ້​: ໃຊ້ໃນເວລາທີ່ຕ້ອງການອາຍແກັສທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ເຊັ່ນ: ໃນລະຫວ່າງການຝັງຫຼືຂະບວນການ etching.

* ວັດສະດຸ: ສ່ວນຫຼາຍແລ້ວແມ່ນສ້າງຂຶ້ນໂດຍໃຊ້ຖ່ານທີ່ເປີດໃຊ້ງານ, ຊີໂອໄລ, ຫຼືວັດສະດຸດູດຊຶມອື່ນໆທີ່ອອກແບບມາໂດຍສະເພາະເພື່ອຈັບສິ່ງສົກກະປົກຂອງໂມເລກຸນ.

3. ການກັ່ນຕອງອາຍແກັສທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ

* ຈຸດ​ປະ​ສົງ​: ເພື່ອບັນລຸມາດຕະຖານອາຍແກັສທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ (UHP), ທີ່ສໍາຄັນສໍາລັບຂະບວນການ semiconductor ບ່ອນທີ່ impurity ເລັກນ້ອຍສາມາດສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຄຸນນະພາບຜະລິດຕະພັນ.

* ການ​ນໍາ​ໃຊ້​: ຕົວກອງເຫຼົ່ານີ້ຖືກໃຊ້ໃນຂະບວນການຕ່າງໆເຊັ່ນ: Chemical Vapor Deposition (CVD) ແລະ plasma Etching, ບ່ອນທີ່ impurities ສາມາດເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມຜິດປົກກະຕິຮ້າຍແຮງ.

* ວັດສະດຸ: ຜະລິດຈາກສະແຕນເລດທີ່ມີເຍື່ອພິເສດເພື່ອຮັກສາຄວາມສົມບູນພາຍໃຕ້ຄວາມກົດດັນສູງແລະສະພາບທີ່ຮຸນແຮງ.

4. ການກັ່ນຕອງອາຍແກັສຫຼາຍ

* ຈຸດ​ປະ​ສົງ​: ເພື່ອຊໍາລະກ໊າຊໃນຈຸດທີ່ເຂົ້າມາຫຼືກ່ອນການແຈກຢາຍໃຫ້ກັບສາຍການຜະລິດ.

* ການ​ນໍາ​ໃຊ້​: ຕັ້ງຢູ່ເທິງກະແສໃນລະບົບການຈັດສົ່ງອາຍແກັສເພື່ອກັ່ນຕອງອາຍແກັສເປັນຈຳນວນຫຼາຍ ກ່ອນທີ່ພວກມັນຈະຖືກສະໜອງໃຫ້ແຕ່ລະເຄື່ອງມື ຫຼືເຄື່ອງປະຕິກອນ.

* ວັດສະດຸ: ການກັ່ນຕອງເຫຼົ່ານີ້ມັກຈະມີຄວາມສາມາດສູງສໍາລັບການຈັດການກັບປະລິມານຂະຫນາດໃຫຍ່ຂອງອາຍແກັສ.

5. ຈຸດນຳໃຊ້ (POU) ການກັ່ນຕອງອາຍແກັສ

* ຈຸດ​ປະ​ສົງ​: ເພື່ອຮັບປະກັນວ່າທາດອາຍພິດທີ່ສົ່ງໃຫ້ແຕ່ລະເຄື່ອງມືປຸງແຕ່ງສະເພາະແມ່ນບໍ່ມີສິ່ງປົນເປື້ອນໃດໆ.

* ການ​ນໍາ​ໃຊ້​: ຕິດຕັ້ງພຽງແຕ່ກ່ອນທີ່ທາດອາຍພິດໄດ້ຖືກນໍາສະເຫນີໃຫ້ອຸປະກອນຂະບວນການ, ເຊັ່ນ: etching ຫຼືຫ້ອງ deposition.

* ວັດສະດຸ: ຜະລິດຈາກວັດສະດຸທີ່ເຂົ້າກັນໄດ້ກັບທາດອາຍຜິດປະຕິກິລິຍາທີ່ໃຊ້ໃນຂະບວນການເຊມິຄອນດັກເຕີ ເຊັ່ນ: ໂລຫະປະສົມ ຫຼື PTFE.

6. ການກັ່ນຕອງອາຍແກັສໃນແຖວ

* ຈຸດ​ປະ​ສົງ​: ເພື່ອສະຫນອງການກັ່ນຕອງ inline ສໍາລັບອາຍແກັສທີ່ເຄື່ອນຍ້າຍຜ່ານລະບົບການແຈກຢາຍ.

* ການ​ນໍາ​ໃຊ້​: ຕິດຕັ້ງພາຍໃນສາຍອາຍແກັສຢູ່ໃນຈຸດສໍາຄັນ, ສະຫນອງການກັ່ນຕອງຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງໃນທົ່ວລະບົບ.

* ວັດສະດຸ: ເຫລັກສະແຕນເລດ sintered ຫຼື nickel ເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ທາງເຄມີກັບທາດອາຍຜິດ.

7. ເຄື່ອງກອງກ໊າຊ Surface Mount

* ຈຸດ​ປະ​ສົງ​: ເພື່ອຕິດຕັ້ງໂດຍກົງໃສ່ອົງປະກອບຂອງແຜງອາຍແກັສເພື່ອກໍາຈັດອະນຸພາກແລະໂມເລກຸນປົນເປື້ອນ.

* ການ​ນໍາ​ໃຊ້​: ທົ່ວໄປໃນສະຖານທີ່ໃກ້ຊິດ, ການກັ່ນຕອງເຫຼົ່ານີ້ສະຫນອງການຕອງຈຸດປະສິດທິພາບໃນຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ສໍາຄັນ.

* ວັດສະດຸ: ສະແຕນເລດທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງສໍາລັບຄວາມທົນທານແລະຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ກັບອາຍແກັສການຜະລິດ semiconductor.

8. ຕົວກອງຍ່ອຍໄມໂຄຣ

* ຈຸດ​ປະ​ສົງ​: ເພື່ອກັ່ນຕອງອະນຸພາກຂະຫນາດນ້ອຍທີ່ສຸດ, ມັກຈະເປັນຂະຫນາດຍ່ອຍ micron, ເຊິ່ງຍັງສາມາດເຮັດໃຫ້ເກີດຂໍ້ບົກພ່ອງທີ່ສໍາຄັນໃນຂະບວນການ semiconductor.

* ການ​ນໍາ​ໃຊ້​: ໃຊ້ໃນຂະບວນການທີ່ຕ້ອງການການຕອງລະດັບສູງສຸດເພື່ອຮັກສາການສະຫນອງອາຍແກັສທີ່ບໍລິສຸດທີ່ສຸດ, ເຊັ່ນ photolithography.

* ວັດສະດຸ: ໂລຫະ sintered ຄວາມຫນາແຫນ້ນສູງຫຼືວັດສະດຸເຊລາມິກທີ່ສາມາດຈັບໄດ້ປະສິດທິພາບເຖິງແມ່ນວ່າອະນຸພາກຂະຫນາດນ້ອຍສຸດ.

9. ການກັ່ນຕອງກາກບອນທີ່ເປີດໃຊ້ງານ

* ຈຸດ​ປະ​ສົງ​: ເພື່ອກໍາຈັດສິ່ງປົນເປື້ອນທາງອິນຊີ ແລະ ແກັສທີ່ລະເຫີຍ.

* ການ​ນໍາ​ໃຊ້​: ໃຊ້ໃນແອັບພລິເຄຊັນທີ່ຕ້ອງເອົາສິ່ງເສດເຫຼືອຈາກອາຍພິດອອກເພື່ອປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນຂອງ wafer ຫຼືການລົບກວນຕິກິຣິຍາ.

* ວັດສະດຸ: ວັດສະດຸຄາບອນທີ່ເປີດໃຊ້ງານອອກແບບມາເພື່ອດູດຊຶມໂມເລກຸນອິນຊີ.

10.Sintered ການກັ່ນຕອງອາຍແກັສໂລຫະ

* ຈຸດ​ປະ​ສົງ​: ເພື່ອກໍາຈັດອະນຸພາກແລະ impurities ປະສິດທິຜົນໃນຂະນະທີ່ສະເຫນີຄວາມເຂັ້ມແຂງໂຄງສ້າງແລະການຕໍ່ຕ້ານຄວາມກົດດັນສູງ.

* ການ​ນໍາ​ໃຊ້​: ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຫຼາຍຂັ້ນຕອນຂອງຂະບວນການ semiconductor ບ່ອນທີ່ການກັ່ນຕອງທີ່ເຂັ້ມແຂງແມ່ນມີຄວາມຈໍາເປັນ.

* ວັດສະດຸ: ປົກກະຕິແລ້ວແມ່ນເຮັດດ້ວຍເຫຼັກສະແຕນເລດ sintered ຫຼືໂລຫະປະສົມອື່ນໆທີ່ຈະທົນທານຕໍ່ສະພາບແວດລ້ອມ harsh ແລະສານເຄມີ.

11.ການກັ່ນຕອງອາຍແກັສ Hydrophobic

* ຈຸດ​ປະ​ສົງ​: ເພື່ອປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນຫຼືໄອນ້ໍາເຂົ້າໄປໃນກະແສອາຍແກັສ, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງສໍາຄັນໃນຂະບວນການບາງຢ່າງທີ່ມີຄວາມອ່ອນໄຫວຕໍ່ກັບຄວາມຊຸ່ມຊື່ນເຖິງແມ່ນວ່າຮ່ອງຮອຍ.

* ການ​ນໍາ​ໃຊ້​: ມັກໃຊ້ໃນຂະບວນການເຊັ່ນ: ການອົບແຫ້ງ wafer ຫຼື etching plasma.

* ວັດສະດຸ: ເຍື່ອ hydrophobic, ເຊັ່ນ PTFE, ເພື່ອຮັບປະກັນວ່າທາດອາຍຜິດຍັງຄົງບໍ່ມີການປົນເປື້ອນຄວາມຊຸ່ມ.

ການກັ່ນຕອງອາຍແກັສປະເພດຕ່າງໆເຫຼົ່ານີ້ຖືກເລືອກຢ່າງລະມັດລະວັງໂດຍອີງໃສ່ຄຸນສົມບັດສະເພາະ, ຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ຂອງວັດສະດຸ, ແລະຄວາມເຫມາະສົມກັບເງື່ອນໄຂທີ່ເປັນເອກະລັກຂອງຂະບວນການຜະລິດ semiconductor. ການປະສົມປະສານທີ່ເຫມາະສົມຂອງການກັ່ນຕອງເປັນສິ່ງຈໍາເປັນສໍາລັບການຮັກສາລະດັບຄວາມບໍລິສຸດຂອງອາຍແກັສສູງສຸດ, ຮັບປະກັນຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການ, ແລະປ້ອງກັນຄວາມບົກພ່ອງຂອງອຸປະກອນ semiconductor.

ບາງ FAQ ກ່ຽວກັບການກັ່ນຕອງອາຍແກັສ semiconductor

FAQ 1:

ການກັ່ນຕອງອາຍແກັສ semiconductor ແມ່ນຫຍັງແລະເປັນຫຍັງພວກມັນຈຶ່ງມີຄວາມສໍາຄັນ?

ການກັ່ນຕອງອາຍແກັສ semiconductor ແມ່ນອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນໃນຂະບວນການຜະລິດ semiconductor.

ພວກເຂົາເຈົ້າໄດ້ຖືກອອກແບບເພື່ອເອົາ impurities ແລະສິ່ງປົນເປື້ອນອອກຈາກອາຍແກັສຂະບວນການ, ເຊັ່ນ:ອົກຊີ,

ໄນໂຕຣເຈນ, ໄຮໂດເຈນ, ແລະທາດອາຍຜິດເຄມີຕ່າງໆ.

ຄວາມບໍ່ສະອາດເຫຼົ່ານີ້ສາມາດສົ່ງຜົນກະທົບຢ່າງຫຼວງຫຼາຍຕໍ່ຄຸນນະພາບ, ຜົນຜະລິດ, ແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງອຸປະກອນ semiconductor.

ໂດຍການກັ່ນຕອງກະແສອາຍແກັສຢ່າງມີປະສິດທິພາບ, ການກັ່ນຕອງອາຍແກັສ semiconductor ຊ່ວຍໃຫ້:

1.ຮັກສາຄວາມບໍລິສຸດສູງ:

ໃຫ້ແນ່ໃຈວ່າກ໊າຊທີ່ໃຊ້ໃນຂະບວນການຜະລິດບໍ່ມີສານປົນເປື້ອນທີ່ສາມາດເຮັດໃຫ້ປະສິດທິພາບຂອງອຸປະກອນຫຼຸດລົງ.

2.ປ້ອງກັນຄວາມເສຍຫາຍອຸປະກອນ:

ປົກປ້ອງອຸປະກອນ semiconductor ທີ່ລະອຽດອ່ອນຈາກການປົນເປື້ອນຂອງອະນຸພາກແລະສານເຄມີ, ຊຶ່ງສາມາດນໍາໄປສູ່ການໃຊ້ເວລາ downtime ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍແລະການສ້ອມແປງ.

3. ປັບປຸງຜົນຜະລິດຂອງຜະລິດຕະພັນ:

ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມບົກຜ່ອງແລະຄວາມລົ້ມເຫລວທີ່ເກີດຈາກຄວາມບໍ່ສະອາດຂອງອາຍແກັສ, ເຮັດໃຫ້ຜົນຜະລິດການຜະລິດສູງຂຶ້ນ.

4. ປັບປຸງຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງອຸປະກອນ:

ຫຼຸດຜ່ອນການເຊື່ອມໂຊມໃນໄລຍະຍາວຂອງອຸປະກອນ semiconductor ເນື່ອງຈາກບັນຫາທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບການປົນເປື້ອນ.

FAQ 2:

ປະເພດທົ່ວໄປຂອງການກັ່ນຕອງອາຍແກັສ semiconductor ແມ່ນຫຍັງ?

ຫຼາຍປະເພດຂອງການກັ່ນຕອງອາຍແກັສຖືກນໍາໃຊ້ໃນການຜະລິດ semiconductor, ແຕ່ລະຄົນອອກແບບມາເພື່ອເອົາອອກ

ປະເພດສະເພາະຂອງສິ່ງປົນເປື້ອນ.

ປະເພດທົ່ວໄປທີ່ສຸດປະກອບມີ:

1.Particulate filters:

ການກັ່ນຕອງເຫຼົ່ານີ້ເອົາອະນຸພາກແຂງ, ເຊັ່ນຂີ້ຝຸ່ນ, ເສັ້ນໃຍ, ແລະອະນຸພາກໂລຫະ, ອອກຈາກກະແສອາຍແກັສ.

ປົກກະຕິແລ້ວພວກມັນແມ່ນເຮັດດ້ວຍວັດສະດຸເຊັ່ນ: ໂລຫະປະສົມ, ເຊລາມິກ, ຫຼືຕົວກອງເຍື່ອ.

2.ການກັ່ນຕອງເຄມີ:

ການກັ່ນຕອງເຫຼົ່ານີ້ເອົາສິ່ງເສດເຫຼືອທາງເຄມີ, ເຊັ່ນ: ໄອນ້ໍາ, ໄຮໂດຄາບອນ, ແລະອາຍແກັສທີ່ກັດກ່ອນ.

ພວກມັນມັກຈະອີງໃສ່ຫຼັກການດູດຊຶມຫຼືການດູດຊຶມ, ການນໍາໃຊ້ວັດສະດຸເຊັ່ນ: ກາກບອນທີ່ເປີດໃຊ້,

sieves ໂມເລກຸນ, ຫຼື sorbents ສານເຄມີ.

3.ຕົວກອງປະສົມ:

ການກັ່ນຕອງເຫຼົ່ານີ້ສົມທົບຄວາມສາມາດຂອງການກັ່ນຕອງອະນຸພາກແລະສານເຄມີທີ່ຈະເອົາທັງສອງປະເພດຂອງ

ສິ່ງປົນເປື້ອນ. ພວກມັນມັກຈະຖືກນໍາໃຊ້ໃນຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ສໍາຄັນທີ່ຄວາມບໍລິສຸດສູງເປັນສິ່ງຈໍາເປັນ.

FAQ 3:

ການກັ່ນຕອງອາຍແກັສ semiconductor ຖືກເລືອກແລະອອກແບບແນວໃດ?

ການ​ຄັດ​ເລືອກ​ແລະ​ການ​ອອກ​ແບບ​ຂອງ​ການ​ກັ່ນ​ຕອງ​ອາຍ​ແກ​ັ​ສ semiconductor ມີ​ຫຼາຍ​ປັດ​ໄຈ​, ລວມ​ທັງ​:

* ຄວາມຕ້ອງການຄວາມບໍລິສຸດຂອງອາຍແກັສ:

ລະດັບຄວາມບໍລິສຸດທີ່ຕ້ອງການສໍາລັບກະແສອາຍແກັສສະເພາະກໍານົດປະສິດທິພາບແລະຄວາມສາມາດຂອງການກັ່ນຕອງຂອງການກັ່ນຕອງ.

* ອັດ​ຕາ​ການ​ໄຫຼ​ແລະ​ຄວາມ​ກົດ​ດັນ​:

ປະລິມານອາຍແກັສທີ່ຈະກັ່ນຕອງແລະຄວາມກົດດັນປະຕິບັດງານມີອິດທິພົນຕໍ່ຂະຫນາດ, ວັດສະດຸ, ແລະການຕັ້ງຄ່າຂອງການກັ່ນຕອງ.

* ປະ​ເພດ​ແລະ​ຄວາມ​ເຂັ້ມ​ແຂງ​:

ປະເພດສະເພາະຂອງສານປົນເປື້ອນທີ່ມີຢູ່ໃນກະແສອາຍແກັສກໍານົດທາງເລືອກຂອງສື່ການກັ່ນຕອງແລະຂະຫນາດຂອງຮູຂຸມຂົນຂອງມັນ.

* ອຸນ​ຫະ​ພູມ​ແລະ​ຄວາມ​ຊຸ່ມ​ຊື່ນ​:

ເງື່ອນໄຂການເຮັດວຽກສາມາດສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ການປະຕິບັດແລະອາຍຸຂອງການກັ່ນຕອງ.

* ຄ່າ​ໃຊ້​ຈ່າຍ​ແລະ​ການ​ບໍາ​ລຸງ​ຮັກ​ສາ​:

ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍເບື້ອງຕົ້ນຂອງການກັ່ນຕອງແລະຄວາມຕ້ອງການບໍາລຸງຮັກສາຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງຂອງມັນຕ້ອງໄດ້ຮັບການພິຈາລະນາ.

ໂດຍການພິຈາລະນາຢ່າງລະອຽດກ່ຽວກັບປັດໃຈເຫຼົ່ານີ້, ວິສະວະກອນສາມາດເລືອກແລະອອກແບບການກັ່ນຕອງອາຍແກັສທີ່ຕອບສະຫນອງສະເພາະ

ຄວາມຕ້ອງການຂອງຂະບວນການຜະລິດ semiconductor.

ການກັ່ນຕອງອາຍແກັສຄວນຖືກແທນທີ່ເລື້ອຍໆໃນການຜະລິດ Semiconductor?

ຄວາມຖີ່ຂອງການທົດແທນຂອງການກັ່ນຕອງອາຍແກັສໃນການຜະລິດ semiconductor ແມ່ນຂຶ້ນກັບປັດໃຈຈໍານວນຫນຶ່ງ, ລວມທັງປະເພດຂອງ

ຂະບວນການ, ລະດັບຂອງການປົນເປື້ອນ, ແລະປະເພດສະເພາະຂອງການກັ່ນຕອງຖືກນໍາໃຊ້. ໂດຍປົກກະຕິ, ການກັ່ນຕອງອາຍແກັສໄດ້ຖືກທົດແທນເປັນປົກກະຕິ

ຕາຕະລາງການບໍາລຸງຮັກສາເພື່ອປ້ອງກັນຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການປົນເປື້ອນ,ເລື້ອຍໆທຸກໆ 6 ຫາ 12 ເດືອນ, ຂຶ້ນກັບເງື່ອນໄຂການນໍາໃຊ້

ແລະຄໍາແນະນໍາຈາກຜູ້ຜະລິດການກັ່ນຕອງ.

ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ຕາຕະລາງການທົດແທນສາມາດແຕກຕ່າງກັນຢ່າງກວ້າງຂວາງໂດຍອີງໃສ່ສະພາບແວດລ້ອມການດໍາເນີນງານ. ຕົວຢ່າງ:

* ຂະບວນການປົນເປື້ອນສູງ:

ການກັ່ນຕອງອາດຈະຕ້ອງໄດ້ຮັບການທົດແທນເລື້ອຍໆຖ້າຫາກວ່າພວກເຂົາເຈົ້າໄດ້ຖືກສໍາຜັດກັບລະດັບສູງຂອງ

ການປົນເປື້ອນອະນຸພາກຫຼືໂມເລກຸນ.

* ຄໍາ​ຮ້ອງ​ສະ​ຫມັກ​ທີ່​ສໍາ​ຄັນ​:

ໃນຂະບວນການທີ່ຕ້ອງການຄວາມບໍລິສຸດສູງທີ່ສຸດ (ຕົວຢ່າງ, photolithography), ການກັ່ນຕອງມັກຈະຖືກທົດແທນ

preemptively ເພື່ອຮັບປະກັນວ່າຄຸນນະພາບອາຍແກັສບໍ່ໄດ້ຫຼຸດຫນ້ອຍລົງ.

ການຕິດຕາມຄວາມກົດດັນທີ່ແຕກຕ່າງກັນໃນທົ່ວການກັ່ນຕອງແມ່ນວິທີການທົ່ວໄປສໍາລັບການກໍານົດເວລາທີ່ການກັ່ນຕອງຕ້ອງຖືກປ່ຽນແທນ.

ເມື່ອສານປົນເປື້ອນສະສົມ, ຄວາມກົດດັນຫຼຸດລົງໃນທົ່ວການກັ່ນຕອງເພີ່ມຂຶ້ນ, ຊີ້ໃຫ້ເຫັນເຖິງການຫຼຸດຜ່ອນປະສິດທິພາບ.

ມັນເປັນສິ່ງ ສຳ ຄັນທີ່ຈະທົດແທນການກັ່ນຕອງກ່ອນທີ່ປະສິດທິພາບຂອງພວກມັນຈະຫຼຸດລົງ, ເພາະວ່າການລະເມີດຄວາມບໍລິສຸດຂອງອາຍແກັສສາມາດເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມບົກຜ່ອງຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ,

ຫຼຸດຜ່ອນຜົນຜະລິດ, ແລະແມ້ກະທັ້ງນໍາໄປສູ່ຄວາມເສຍຫາຍອຸປະກອນ.

ເຄື່ອງກອງອາຍແກັສມີວັດສະດຸໃດແດ່ທີ່ເຮັດມາເພື່ອນຳໃຊ້ Semiconductor?

ການກັ່ນຕອງອາຍແກັສທີ່ໃຊ້ໃນຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ semiconductor ແມ່ນຜະລິດຈາກວັດສະດຸທີ່ສາມາດຮັກສາມາດຕະຖານຄວາມບໍລິສຸດສູງສຸດ

ແລະທົນທານຕໍ່ສະພາບແວດລ້ອມທີ່ໂຫດຮ້າຍທີ່ພົບໃນການຜະລິດ. ວັດສະດຸທົ່ວໄປປະກອບມີ:

ສະແຕນເລດ (316L): ອຸປະກອນການນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງທີ່ສຸດເນື່ອງຈາກການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີ, ຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກ, ແລະ

ຄວາມສາມາດໃນການ fabricated ກັບຂະຫນາດ pore ຊັດເຈນໂດຍນໍາໃຊ້ເຕັກໂນໂລຊີ sintering. ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບການກັ່ນຕອງທັງສອງ reactive

ແລະທາດອາຍຜິດ inert.

* PTFE (Polytetrafluoroethylene): PTFE ເປັນວັດສະດຸ inert ເຄມີທີ່ໃຊ້ສໍາລັບການກັ່ນຕອງ reactive ສູງຫຼື corrosive

ທາດອາຍຜິດ. ມັນມີຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ຂອງສານເຄມີທີ່ດີເລີດແລະຄຸນສົມບັດ hydrophobic, ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບຄວາມຊຸ່ມຊື່ນທີ່ລະອຽດອ່ອນ

ຂະບວນການ.

* Nickel ແລະ Hastelloy:

ວັດສະດຸເຫຼົ່ານີ້ຖືກນໍາໃຊ້ສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງຫຼືສໍາລັບຂະບວນການທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບສານເຄມີທີ່ຮຸກຮານ

ບ່ອນທີ່ສະແຕນເລດອາດຈະຊຸດໂຊມ.

*ເຊລາມິກ:

ການກັ່ນຕອງເຊລາມິກຖືກນໍາໃຊ້ສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມສູງສຸດແມ່ນຕ້ອງການ, ຫຼືສໍາລັບການຍ່ອຍ micron

ການກັ່ນຕອງຂອງອະນຸພາກ.

ທາງເລືອກຂອງວັດສະດຸແມ່ນຂຶ້ນກັບປະເພດຂອງອາຍແກັສ, ການປະກົດຕົວຂອງຊະນິດ reactive, ອຸນຫະພູມ, ແລະ

ຕົວກໍານົດການຂະບວນການອື່ນໆ. ວັດສະດຸຕ້ອງບໍ່ມີປະຕິກິລິຍາເພື່ອຮັບປະກັນວ່າພວກມັນບໍ່ ນຳ ສະ ເໜີ ຄວາມບໍ່ສະອາດ

ຫຼືອະນຸພາກເຂົ້າໄປໃນຂະບວນການ, ດັ່ງນັ້ນການຮັກສາລະດັບຄວາມບໍລິສຸດຂອງອາຍແກັສທີ່ຈໍາເປັນສໍາລັບການ fabrication semiconductor.

ບົດບາດຂອງຕົວກອງຈຸດທີ່ໃຊ້ (POU) ໃນການຜະລິດເຊມິຄອນດັກເຕີແມ່ນຫຍັງ?

ການກັ່ນຕອງຈຸດທີ່ໃຊ້ (POU) ເປັນສິ່ງຈໍາເປັນໃນການຜະລິດ semiconductor, ຍ້ອນວ່າພວກເຂົາຮັບປະກັນວ່າກ໊າຊຈະຖືກເຮັດຄວາມສະອາດທັນທີກ່ອນ.

ເຂົ້າໄປໃນເຄື່ອງມືຂະບວນການ. ການກັ່ນຕອງເຫຼົ່ານີ້ສະຫນອງການປ້ອງກັນສຸດທ້າຍຕໍ່ກັບສິ່ງປົນເປື້ອນທີ່ອາດຈະເຂົ້າໄປໃນກະແສອາຍແກັສ

ໃນ​ລະ​ຫວ່າງ​ການ​ເກັບ​ຮັກ​ສາ​, ການ​ຂົນ​ສົ່ງ​, ຫຼື​ການ​ແຈກ​ຢາຍ​, ດັ່ງ​ນັ້ນ​ການ​ເພີ່ມ​ຄວາມ​ຫມັ້ນ​ຄົງ​ຂະ​ບວນ​ການ​ແລະ​ຄຸນ​ນະ​ພາບ​ຜະ​ລິດ​ຕະ​ພັນ​.

ຜົນປະໂຫຍດທີ່ສໍາຄັນຂອງການກັ່ນຕອງ POU:

*ຕັ້ງຢູ່ໃກ້ກັບອຸປະກອນທີ່ສໍາຄັນ (ຕົວຢ່າງ, etching ຫຼືຫ້ອງ deposition) ເພື່ອປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນຈາກການໄປເຖິງ wafer ໄດ້.

*ກຳຈັດທັງຝຸ່ນລະອອງ ແລະໂມເລກຸນທີ່ອາດຖືກນຳມາໂດຍລະບົບການຈັດການອາຍແກັສ ຫຼື ການສຳຜັດກັບສິ່ງແວດລ້ອມ.

* ຮັບ​ປະ​ກັນ​ຄຸນ​ນະ​ພາບ​ອາຍ​ແກ​ັ​ສ​ທີ່​ສູງ​ທີ່​ສຸດ​ທີ່​ເປັນ​ໄປ​ໄດ້​ແມ່ນ​ສົ່ງ​ໃຫ້​ເຄື່ອງ​ມື​ຂະ​ບວນ​ການ​, ການ​ປົກ​ປັກ​ຮັກ​ສາ​ອຸ​ປະ​ກອນ​ແລະ​ການ​ຍົກ​ສູງ​ຄຸນ​ນະ​ພາບ​ຂອງ​ອຸ​ປະ​ກອນ​ທີ່​ຜະ​ລິດ​ໄດ້​.

* ຫຼຸດ​ຜ່ອນ​ການ​ປ່ຽນ​ແປງ​ຂະ​ບວນ​ການ​, ເພີ່ມ​ທະ​ວີ​ການ​ຜົນ​ຜະ​ລິດ​, ແລະ​ຫຼຸດ​ຜ່ອນ​ລະ​ດັບ​ຄວາມ​ຜິດ​ພາດ​.

* ສິ່ງທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້ໃນສະພາບແວດລ້ອມ semiconductor ຂັ້ນສູງທີ່ເຖິງແມ່ນວ່າຄວາມບໍ່ສະອາດເລັກນ້ອຍສາມາດສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ການຜະລິດແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງຜະລິດຕະພັນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ.

ການກັ່ນຕອງອາຍແກັສປ້ອງກັນການຢຸດເຄື່ອງອຸປະກອນໃນຂະບວນການ Semiconductor ແນວໃດ?

ການກັ່ນຕອງອາຍແກັສປ້ອງກັນການຢຸດເຄື່ອງອຸປະກອນໃນຂະບວນການ semiconductor ໂດຍການຮັບປະກັນວ່າອາຍແກັສຂອງຂະບວນການແມ່ນຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງບໍ່ມີ.

ສິ່ງປົນເປື້ອນທີ່ອາດຈະເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມເສຍຫາຍຕໍ່ອຸປະກອນການຜະລິດ. ການຜະລິດ semiconductor ກ່ຽວຂ້ອງກັບການນໍາໃຊ້ສູງ

ອຸ​ປະ​ກອນ​ທີ່​ລະ​ອຽດ​ອ່ອນ​, ລວມ​ທັງ​ຫ້ອງ​ການ​ເກັບ​ກໍາ​, ເຄື່ອງ etching plasma​, ແລະ​ລະ​ບົບ photolithography​.

ຖ້າສິ່ງປົນເປື້ອນເຊັ່ນ: ຂີ້ຝຸ່ນ, ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນ, ຫຼືສິ່ງປົນເປື້ອນທີ່ມີປະຕິກິລິຍາເຂົ້າໄປໃນເຄື່ອງເຫຼົ່ານີ້, ພວກມັນສາມາດເຮັດໃຫ້ເກີດບັນຫາຕ່າງໆ,

ຈາກການອຸດຕັນປ່ຽງແລະປ່ຽງເພື່ອທໍາລາຍພື້ນຜິວ wafer ຫຼືພາຍໃນເຕົາປະຕິກອນ.

ໂດຍການນໍາໃຊ້ການກັ່ນຕອງອາຍແກັສທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ, ຜູ້ຜະລິດປ້ອງກັນການນໍາສະເຫນີຂອງສິ່ງປົນເປື້ອນເຫຼົ່ານີ້, ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມເປັນໄປໄດ້ຂອງ.

ການບໍາລຸງຮັກສາທີ່ບໍ່ໄດ້ວາງແຜນແລະການທໍາລາຍອຸປະກອນ. ນີ້ຊ່ວຍໃນການຮັກສາຕາຕະລາງການຜະລິດທີ່ຫມັ້ນຄົງ, ຫຼຸດຜ່ອນຫນ້ອຍລົງ

downtime ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍ, ແລະຫຼີກເວັ້ນການຄ່າໃຊ້ຈ່າຍທີ່ສໍາຄັນທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບການສ້ອມແປງຫຼືການທົດແທນ.

ນອກຈາກນັ້ນ, ການກັ່ນຕອງທີ່ຮັກສາໄວ້ໄດ້ດີຊ່ວຍຍືດອາຍຸຂອງອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນ, ເຊັ່ນ: ຕົວຄວບຄຸມການໄຫຼ, ປ່ຽງ, ແລະເຄື່ອງປະຕິກອນ.

ດ້ວຍ​ເຫດ​ນີ້​ຈຶ່ງ​ໄດ້​ຍົກ​ສູງ​ປະ​ສິດ​ທິ​ພາບ​ລວມ​ແລະ​ກຳ​ໄລ​ຂອງ​ຂະ​ບວນ​ການ​ຜະ​ລິດ.

ດັ່ງນັ້ນ, ຫຼັງຈາກກວດເບິ່ງລາຍລະອຽດບາງຢ່າງກ່ຽວກັບການກັ່ນຕອງອາຍແກັສ semiconductor, ຖ້າຍັງມີຄໍາຖາມເພີ່ມເຕີມ.

ພ້ອມທີ່ຈະປັບປຸງຂະບວນການຜະລິດ semiconductor ຂອງທ່ານດ້ວຍການແກ້ໄຂການກັ່ນຕອງອາຍແກັສທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງບໍ?

ຕິດຕໍ່ HENGKO ໃນມື້ນີ້ສໍາລັບການຊີ້ນໍາຈາກຜູ້ຊ່ຽວຊານແລະການແກ້ໄຂທີ່ກໍາຫນົດເອງເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການຂອງທ່ານ.

ຫຼັງ​ຈາກ​ການ​ກວດ​ສອບ​ບາງ​ຂໍ້​ມູນ​ລາຍ​ລະ​ອຽດ​ກ່ຽວ​ກັບ​ການ​ກັ່ນ​ຕອງ​ອາຍ​ແກ​ັ​ສ semiconductor​, ຖ້າ​ຫາກ​ວ່າ​ທ່ານ​ໄດ້​ຮັບ​ຄໍາ​ຖາມ​ເພີ່ມ​ເຕີມ​?

ພ້ອມທີ່ຈະປັບປຸງຂະບວນການຜະລິດ semiconductor ຂອງທ່ານດ້ວຍການແກ້ໄຂການກັ່ນຕອງອາຍແກັສທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງບໍ?

ຕິດຕໍ່ HENGKO ໃນມື້ນີ້ສໍາລັບການຊີ້ນໍາຈາກຜູ້ຊ່ຽວຊານແລະການແກ້ໄຂທີ່ກໍາຫນົດເອງເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການຂອງທ່ານ.

ສົ່ງອີເມວຫາພວກເຮົາທີ່ka@hengko.comສໍາລັບຂໍ້ມູນເພີ່ມເຕີມ.

ທີມງານຂອງພວກເຮົາຢູ່ທີ່ນີ້ເພື່ອຊ່ວຍໃຫ້ທ່ານເພີ່ມປະສິດທິພາບການຜະລິດແລະຄຸນນະພາບຜະລິດຕະພັນຂອງທ່ານ.