ເຊັນເຊີອຸນຫະພູມແລະຄວາມຊຸ່ມຊື່ນສໍາລັບ Semiconductor Clean Room Temperature Humidity Control Scheme
ຜະລິດຕະພັນສະແດງ
ອຸນຫະພູມແລະຄວາມຊຸ່ມຊື່ນຂອງພື້ນທີ່ສະອາດແມ່ນຖືກກໍານົດໂດຍສ່ວນໃຫຍ່ຕາມຄວາມຕ້ອງການຂອງຂະບວນການ, ແຕ່ພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂຂອງການຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການຂອງຂະບວນການ, ຄວາມຮູ້ສຶກສະດວກສະບາຍຄວນໄດ້ຮັບການພິຈາລະນາ.ດ້ວຍການປັບປຸງຄວາມຕ້ອງການຄວາມສະອາດຂອງອາກາດ, ມີທ່າອ່ຽງຂອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ເຂັ້ມງວດຫຼາຍຂຶ້ນສໍາລັບອຸນຫະພູມແລະຄວາມຊຸ່ມຊື່ນ.
ເນື່ອງຈາກຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການປຸງແຕ່ງແມ່ນມີຫຼາຍຂຶ້ນ, ດັ່ງນັ້ນລະດັບຄວາມຜັນຜວນຂອງອຸນຫະພູມແມ່ນຫນ້ອຍລົງ.ສໍາລັບຕົວຢ່າງ, ໃນຂະບວນການສໍາຜັດ lithographic ຂອງການຜະລິດວົງຈອນປະສົມປະສານຂະຫນາດໃຫຍ່, ຄວາມແຕກຕ່າງຂອງຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວຄວາມຮ້ອນລະຫວ່າງແກ້ວແລະ silicon wafer ເປັນອຸປະກອນການຫນ້າກາກຈໍາເປັນຕ້ອງມີຂະຫນາດນ້ອຍກວ່າແລະຂະຫນາດນ້ອຍ.ເສັ້ນຜ່າກາງ 100 um wafer ຊິລິໂຄນ, ອຸນຫະພູມເພີ່ມຂຶ້ນ 1 ອົງສາ, ຈະເຮັດໃຫ້ການຂະຫຍາຍເສັ້ນ 0.24um, ສະນັ້ນຕ້ອງມີອຸນຫະພູມ ± 0.1 ອົງສາ, ໃນເວລາດຽວກັນຄ່າຄວາມຊຸ່ມຊື່ນໂດຍທົ່ວໄປແມ່ນຕໍ່າ, ເພາະວ່າຄົນເຫື່ອອອກ, ຜະລິດຕະພັນຈະມີມົນລະພິດ, ໂດຍສະເພາະແມ່ນຄວາມຢ້ານກົວຂອງກອງປະຊຸມ semiconductor sodium, ກອງປະຊຸມນີ້ບໍ່ຄວນເກີນ 25 ອົງສາ.
ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນສູງເຮັດໃຫ້ເກີດບັນຫາຫຼາຍຂຶ້ນ.ເມື່ອຄວາມຊຸ່ມຊື່ນຂອງພີ່ນ້ອງເກີນ 55%, ນໍ້າຕົກຄ້າງຈະປະກອບໃສ່ຝາຂອງທໍ່ນ້ໍາເຢັນ, ເຊິ່ງຈະເຮັດໃຫ້ເກີດອຸປະຕິເຫດຕ່າງໆຖ້າມັນເກີດຂື້ນໃນອຸປະກອນທີ່ຊັດເຈນຫຼືວົງຈອນ.ໃນເວລາທີ່ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນພີ່ນ້ອງແມ່ນ 50%, ມັນງ່າຍທີ່ຈະ rust.ນອກຈາກນັ້ນ, ເມື່ອຄວາມຊຸ່ມຊື່ນສູງເກີນໄປ, ຂີ້ຝຸ່ນຕິດຢູ່ດ້ານຂອງຊິບຊິລິໂຄນຈະຖືກດູດຊຶມທາງເຄມີຢູ່ເທິງຫນ້າດິນເພື່ອຕ້ານການກໍາຈັດ.ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນຂອງພີ່ນ້ອງສູງກວ່າ, ການຍຶດຕິດແມ່ນຍາກທີ່ຈະເອົາອອກ, ແຕ່ເມື່ອຄວາມຊຸ່ມຊື່ນຂອງພີ່ນ້ອງຕ່ໍາກວ່າ 30%, ອະນຸພາກແມ່ນງ່າຍຕໍ່ການດູດຊຶມຢູ່ເທິງຫນ້າດິນເນື່ອງຈາກການປະຕິບັດຂອງແຮງໄຟຟ້າສະຖິດ, ແລະອຸປະກອນ semiconductor ຈໍານວນຫຼວງຫຼາຍແມ່ນ. ມີຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການແຕກແຍກ.ລະດັບອຸນຫະພູມທີ່ດີທີ່ສຸດສໍາລັບການຜະລິດ wafer ແມ່ນ 35-45%.
ເພາະສະນັ້ນ, ການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມແລະຄວາມຊຸ່ມຊື່ນແມ່ນມີຄວາມສໍາຄັນໂດຍສະເພາະ, HENGKO ສາມາດສະຫນອງທ່ານດ້ວຍຊຸດຂອງເຄື່ອງສົ່ງອຸນຫະພູມແລະຄວາມຊຸ່ມຊື່ນ ການແກ້ໄຂການປຸງແຕ່ງທີ່ປັບແຕ່ງເອງ!
ເຊັນເຊີອຸນຫະພູມແລະຄວາມຊຸ່ມຊື່ນສໍາລັບ Semiconductor Clean Room Temperature Humidity Control Scheme
ບໍ່ສາມາດຊອກຫາຜະລິດຕະພັນທີ່ຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການຂອງທ່ານບໍ?ຕິດຕໍ່ພະນັກງານຂາຍຂອງພວກເຮົາສໍາລັບບໍລິການປັບແຕ່ງ OEM/ODM!